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ESD-620解理机

 
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X

行程范围:100mm

滚轮压力

0~20N

定位精度:5 um

划刀压力

0~1N

Y

行程范围:100mm

设备重量

约60kg

q

+/-5度旋转

外形尺寸

650  mm×650 mm×400mm

晶圆尺寸

适用于4英寸(100mm)晶圆

19″TFT彩屏,中文界面

图像系统

5X放大倍率(10X,20X可选)

Windows  7操作系统,解理机专用控制软件











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